Chemical Business 高純度イオン交換樹脂
高純度イオン交換樹脂について
半導体製造技術の進歩に伴い、半導体デバイスの小型化・高集積化が顕著です。超純水と同様に、電子工業用製品の製造過程で使用される様々な薬品は、高純度化が強く求められています。Muromac HGシリーズは、時代のニーズに合わせた薬品の更なる高純度化を可能にするために、新たに開発された高純度イオン交換樹脂です。
Muromac HGシリーズの特徴
・ 樹脂からの溶出を極力低減するために、樹脂中に含まれる不純金属やTOCを予め低減
・ 水系および有機溶剤系の電子材料薬品やプロセス液の精製に適応
・ ppm、ppbオーダーのイオン性不純物除去が得意
Muromac HGシリーズの実績
・ クエン酸、グリオキシル酸などの有機酸類
・ メタノール、エタノール等のアルコール類
・ PGME、PGMEAの有機溶剤類
Muromac HGシリーズ紹介動画
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